设备型号：SCS-SRD200
适用制程：清洗、蚀刻、去胶
产品尺寸：6/8/12寸（25/50pcs)
腔体类型：旋转喷淋
腔体数量：可定制
Load/Unload：open cassette
工艺指标：particle：0.2um≤30ea，金属离子：≤5E10atoms/cm2
软件支持:IPC+PLC
平均故障时间MTBF:≥720h
破片率:≤1/10000
稼动率:≥95%

旋转冲洗和干燥，主要利用离心力和表面张力控制来实现高效清洗和干燥。

广泛应用于湿制蚀刻、去胶、清洗等制程