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SRD湿法清洗机
200mm晶圆喷涂湿法清洗机
型号：SCS-SRD09
产品特点
设备型号：SCS-SRD200
适用制程：清洗、蚀刻、去胶
产品尺寸：6/8/12寸（25/50pcs）
腔体类型：旋转喷淋
腔体数量：可定制
Load/Unload：open cassette
工艺指标：particle：0.2um≤30ea，金属离子：≤5E10atoms/cm2
软件支持:IPC+PLC
平均故障时间MTBF:≥720h
破片率:≤1/10000
稼动率:≥95%
应用领域
广泛应用于湿制蚀刻、去胶、清洗等制程
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- 全自动晶圆化学清洗设备
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139 6265 8938
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