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TGV电镀机
wafer尺寸:6寸 8寸 12寸
板级最大尺寸 : 510*515
深宽比:1:1-15:1
衬底材料: 玻璃、石英
填充材料:Cu
玻璃厚度:200um-800um
最小通孔直径:10um
过孔间距/直径:2:1
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TGV电镀实验机
* 技术参数:
1.手动提取挂具,自动电镀(可定制自动方式)
2.通孔直径:10 μm–120 μm(可实配)
3.深宽比:1:1-20:1
4.基板规格:玻璃基板尺寸:≤ 510 mm ×515 mm(支持定制)
基板厚度:0.1–2 mm
5.填充材料:铜(Cu)
6.自动化控制: PLC控制,支持多参数程序化设定,实时监测镀层厚度
7.人机交互界面... MORE +
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