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wafer尺寸:6寸 8寸 12寸
板级最大尺寸 : 510*515
深宽比:1:1-20:1
衬底材料: 玻璃、石英
填充材料:Cu
玻璃厚度:100um-800um
最小通孔直径:10um
过孔间距/直径:2:1
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