产品型号:SCS-TGVD03
垂直/水平:垂直
单面/双面镀：双面
面板规格：玻璃面板（730*920mm、513*623mm、510*515mm、310*310mm）
晶圆规格：玻璃晶圆（6寸、8寸、12寸）
玻璃厚度：200um-800um
最小通孔直径：10um
过孔间距/直径：2:1
适配工艺：TGV金属填孔、表面金属化或RDL
金属元素：铜
技术标准：深宽比原型 1:1–30:1、量产最高 15:1
前后处理（按需）：真空、润湿、化补、清洗、干燥
工艺腔体：TGV铜填孔或RDL铜（按需搭配)
均匀度：≤3%
填孔质量：量产空洞率≤0.5%、凹陷值≤4um

机台特点:
-阳离子交换膜可减少添加剂的使用
-连续过滤化学成分
-干进干出、维护成本低
-定制密封范围
-作业效率高
-精确、一致的流量控制
-极其均匀的现场轮廓