产品型号:SCS-TGVD03

垂直/水平:垂直

单面/双面镀：双面

晶圆类型与尺寸：玻璃晶圆（6/8/12寸） 玻璃面板(310*310/510*515mm) 玻璃厚度：200um-800um

最小通孔直径：10um

过孔间距/直径：2:1

适配工艺：TGV金属填孔、表面金属化或RDL 

金属元素：铜

技术标准：最大深宽比：2:1-15:1

前后处理（按需）：真空、润湿、化补、清洗、干燥

工艺腔体：TGV铜填孔或RDL铜（按需搭配)

均匀度：晶圆级：WiW≤5% ，510*515板级WiW≤8%