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设备型号:SCS-HD03
垂直/水平:垂直
单面/双面镀:双面
晶圆类型与尺寸:晶圆(6/8/12寸)
玻璃面板(310*310/510*515mm)
适配工艺:UBM 金属元素:镍Ni、钯Pd、金Au 前后处理(按需):真空、润湿、清洗、干燥
工艺腔体:按需定制
均匀度:晶圆级:WiW≤5% ,板级:WiW≤8%...
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