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自动晶圆化学镍钯金设备
* 设备型号:SCS-04-HD01
* 整机尺寸:约 9300mm(L)×2350mm(W)×2700mm(H)
* 操作台面高度:950±50mm
* 兼容12inch与8inch wafer
* 全自动运行,foupin-foupout
* dry in- dry out
* 不锈钢SUS316骨架,包覆NPP,结实且耐腐蚀
* 工控机+PLC控制,系统稳定
* Windows操作系统,简单方便
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