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全自动水平式湿法刻蚀设备
全自动水平式湿法刻蚀设备，利用EFEM晶圆传输模块实现晶圆全自动工艺运行.
产品特点
1.产能高，WPH高；
2.优秀的腔体环境；
3.高效的化学品回收系统；
4.支持多种化学品；
5.刻蚀均匀性好；
6.优秀的干燥效果。
应用领域
晶圆制造等
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