![半自动晶圆腐蚀清洗机](../upfile/Product/7d275909664784b690c555692f4efdc2.png)
半自动晶圆腐蚀清洗机
工艺说明
非标订制设备,全机PP满焊接完成;
手臂可同时兼容4寸 ,6寸,8寸,12寸花蓝
制程工艺:三酸(镍刻蚀硫,酸,BOE),三水(QDR*3)或根据要求定制
此台设备为半自动设备,由人员上下料,颗粒清洗则由设备自动运行;
控制系统由PLC控制,设备搭载伺服电机控制的机械手臂,定位准确,手臂提供上下及旋转功能,可同时运行在四个槽体之间,实现自动运行功能.全自动,半自动,手动可定制
可实现与客户端MES系统对接
设备可搭载进口或国产全自动消防系统 。
非标订制设备,全机PP满焊接完成;
手臂可同时兼容4寸 ,6寸,8寸,12寸花蓝
制程工艺:三酸(镍刻蚀硫,酸,BOE),三水(QDR*3)或根据要求定制
此台设备为半自动设备,由人员上下料,颗粒清洗则由设备自动运行;
控制系统由PLC控制,设备搭载伺服电机控制的机械手臂,定位准确,手臂提供上下及旋转功能,可同时运行在四个槽体之间,实现自动运行功能.全自动,半自动,手动可定制
可实现与客户端MES系统对接
设备可搭载进口或国产全自动消防系统 。
应用领域
集成电路,光电产业,新能源汽车,PC电脑,5G通讯,航天电子,移动通讯,光伏发电
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产品特点