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匀胶显影设备
匀胶显影设备是完成除曝光以外的所有光刻工艺的设备,包括光刻材料的涂布、烘烤、显影、晶圆背面的清洗以及用于浸没式工艺的晶圆表面的去离子水冲洗等,匀胶显影机由四部分组成:第一部分是晶圆盒工作站,晶圆盒在这里装载到机器上。机械手从晶圆盒中把晶圆抽出来,传送到工艺处理部分,即第二部分。工艺处理部分是匀胶显影机的主体,增粘...
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