200mm晶圆喷涂湿法清洗机

型号：SCS-SRD09

广泛应用于湿制蚀刻、去胶、清洗等制程

1.CDS独立供液系统
2.自动补液/控温/加热/循环/液位感应/排放
3.视窗开合门上配有检测传感器，检测Cassette放置是否到位
4.工控机+PLC控制系统
5.SPM/HF循环系统由风囊泵实现循环，SC1/SC2循环系统由磁力泵实现循环
6.化学废液靠重力排放至厂务端废液管道内