全自动晶圆化学清洗设备

自动化半导体晶圆化学清洗设备SCS-Q012-150mm(50晶圆)是实现混合物(SPM) -HF溶液-过氧化物-氨水溶液(APM) -过氧化物-盐溶液(HPM)交替加工的工艺过程,在化学试剂中对直径为150mm的半导体晶圆进行清洗。

应用领域

晶圆制造等

产品特点

1.适用直径150mm的晶圆;

2.每个槽中至少有50片晶圆,放置在2个卡塞中;

3.自动晶圆定位系统;

4.机械手自动操作和运输系统;

5.配备高效微粒空气过滤器;

6.配置溶液制备系统;

7.控制系统:PLC+人机界面。

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