全自动水平式湿法刻蚀设备，利用EFEM晶圆传输模块实现晶圆全自动工艺运行.

晶圆制造等

1.产能高，WPH高； 2.优秀的腔体环境； 3.高效的化学品回收系统； 4.支持多种化学品； 5.刻蚀均匀性好； 6.优秀的干燥效果。